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介绍加速度传感器的动作测量原理

2019-04-03 16:37:45

  加速度丈量的原理非常简单并且适当牢靠,其理论基础为与惯性质量有关的牛顿第二定律。

  广州加速度传感器元件的基本构成包含主体、绷簧和惯性质体。当传感器主体的速度发作变化时,会发作跟着速度变化而变化的力,该力将经过绷簧被施加于惯性质体上。具体来说,首要该力使绷簧发作弯曲,然后元件主体与惯性质体的间隔会与加速度成份额地发作变化。

  传感器的工作原理睬依据主体与惯性质体相对移动的检测方法的不同而有所差异。电容式传感器,主体与惯性质体是彼此绝缘的,经过丈量电容来检测加速度。当主体与惯性质体之间的间隔减小时,电容就会添加,电流会向传感器的信号处理IC流动。间隔添加时,情况则会相反。传感器可将主体的加速度转化为电流、电荷、电压三者之一然后进行丈量。

  中心技能,传感器可经过微小的电容变化来进行相关丈量,该模式特别合适被用于检测传感器的细微运动,且功能卓越。加速度传感元件是以单晶硅和玻璃为材料制成的,因此传感器产品可轻松应对运用时间和温度变化带来的各种挑战,具有出色的牢靠性和稳定性以及史无前例精度。

  量程1g的传感元件能够接受超越50,000g规范的加速度 (1g=地球引力所发作的重力加速度) 。电容式的传感元件不仅能够丈量正负两个方向的加速度,还能检测停止加速度和振荡。

  Low-G加速度传感器和倾斜传感器的中心部分,是两个方位对称的以体型微加工技能制成的具有电容特性的加速度传感器元件。对称的结构不仅减小了温度依赖性和它轴灵敏度,还提升了线性。密封性是经过以阳极接合的方法使晶元彼此接合来完成的。

  因此,传感元件的封装变得更容易,牢靠性也更好,一起传感器内阻尼气体的运用也成为可能。

广州加速度传感器

  3轴加速度传感器的设计理念是一直沿袭运用1轴加速度传感器的方法。3轴加速度传感器元件所用到的技能包含由1轴加速度传感器开展而来的技能,Bulk MEMS工艺以及电容检测结构等。

  传感器元件元件内部有多个质量块,这些经过分散MEMS技能加工出的质量块被晶元外表周围的改变绷簧支撑着。与外表MEMS工艺相比,厚度和重量都更大,然后可以完成高灵敏度和低噪音。

  最终的检测成果由将多个质量块的检测成果矢量叠加得到的。质量块的上下两侧具有电容检测的功能。当质量块被施加一个加速度时,经过改变绷簧的作用,质量块会向旋转方向运动,然后质量块上下两侧的电容会随之发作变化。

  多个质量块的矢量组成经过内部的ASIC进行合成核算,就能输出传感器X,Y,Z三个方向的加速度。依据核算成果就能够完成3轴的高精度线性呼应。

文章源自 广州加速度传感器 http://www.tdxck.com

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